被削材： STAVAX (52HRC) Work material ワークサイズ：15 × 15 mm Work size （加工深さ 0.05 mm） Machining depth クーラント：オイルミスト Coolant : Oil mist 総加工時間：5 時間 57 分 Total machining time : 5 hr 57 min 高硬度鋼のマイクロ流路微細加工に安定した寸法精度 Realized stable dimension accuracy on machining hardened steels 加工工程 Process 中仕上げ Semi-Finishing 仕上げ ① Finishing 1 仕上げ ② Finishing 2 使用工具 Tool SSBL200 R0.2 × 1.2 SSBL200 R0.1 × 0.6 SMEZ120 φ0.1 回転数 [min-1] Spindle speed 60,000 60,000 送り速度 [mm/min] Feed 1,200 200 50 切込み量 ap × ae Depth of cut [mm] 0.005×0.01 0.005×0.005 0.003×0.005 ～0.1 加工時間 Machining time 3時間9分 3hr 9 min 44分 44 min 2時間4分 2hr 4 min 流路幅（凸） Flow width 狙い値 0.1000 mm Target 実測値 0.0964mm Actual 表面粗さ（凸） Surface Roughness Ra 0.04 μm Rz 0.58 μm 流路幅（凹） Flow width 狙い値 0.1000mm Target 実測値 0.1036mm Actual 表面粗さ（凹） Surface Roughness Ra 0.06 μm Rz 0.96 μm SMEZ120 被削材： STAVAX (52HRC) Work material ワークサイズ：9 × 9 mm Work size （加工深さ 0.03 mm） Machining depth クーラント：オイルミスト Coolant : Oil mist 総加工時間：93 時間 57 分 Total machining time : 93 hr 57 min 高精度なR精度±0.002mmで超微細切削加工を実現 Realizes micro precision machining with high R accuracy of ±0.002 mm 加工工程 Process 荒取り Roughing 仕上げ Finishing 使用工具 Tool SSBL200 R0.05 × 0.3 SMB200 R0.03 回転数 [min-1] Spindle speed 60,000 60,000 送り速度 [mm/min] Feed 100 30 切込み量 ap × ae Depth of cut [mm] 0.005×0.005 0.001×0.001 加工時間 Machining time 36時間16分 36hr 16 min 57時間41分 57hr 41 min SMB200 SR形状 22,500個 SR shape 22,500pcs 拡大写真 （2,000倍） Enlarged photo ( x2,000 ) 表面粗さ [μm] Surface roughness 深さ [mm] 狙い値 : 0.030 Depth Target 形状精度 [mm] 狙い値: R0.050 Accuracy Target 加工初期 1個目 At the beginning of machining 1st Ra : 0.078 0.031 R0.050 加工終期 22,500個目 At the end of machining 22,500th Ra : 0.085 0.030 R0.049 10 加⼯事例1 Machining case 1 加⼯事例2 Machining case 2 マイクロレンズアレイ Micro Lens array マイクロ流路形状 Microfluidic device
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